Особенности кристаллической структуры и электрических свойств пленочных материалов на основе Ti, Ni и Cо

Токмань, Валерий Васильевич; Проценко, Иван Ефимович; Чорноус, Анатолий Николаевич

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/998

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Особенности кристаллической структуры и электрических свойств пленочных материалов на основе Ti, Ni и Cо
Authors	Tokman, Valerii Vasylovych Protsenko, Ivan Yukhymovych Chornous, Anatolii Mykolaiovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-3351-9303 http://orcid.org/0000-0002-5009-5445
Keywords	кристаллическая структура электрические свойства пленочные материалы кристалічна структура електричні властивості плівкові матеріали crystal structure electrical properties film materials
Type	Article
Date of Issue	2001
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/998
Publisher
License
Citation	Токмань, В.В. Особенности кристаллической структуры и электрических свойств пленочных материалов на основе Ti, Ni и Cо [Текст] / В.В. Токмань, И.Е. Проценко, А.Н. Чорноус // Тонкие пленки в электронике : сборник докладов 12-го Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике», 23-27 апреля, 2001 / Под ред. : А.Ф. Белянина, В.И. Лапшина, В.М. Шулаева. - Харьков, 2001. - С. 23-26.
Abstract	Исследованы фазовый состав, температурная и размерная зависимость сопротивления и термического коэффициента сопротивления (ТКС) в двух- и трехслойных пленках на основе Ni, Со и Ti. Показано, что фазовый состав пленок соответствует ГП-Ti+ГЦК-Ni и ГП-Тi+ГП-Ni со следами интерметалличных фаз TiNi3 и Ti2Co. На зависимостях R(Т) и B(Т) имеют место особенности при характерных температурах. Несовпадение расчетных и экспериментальных значений ТКС можно связать с диффузионными процессами. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/998
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)