Датчики тиску в автоматизації виробництва

Abstract

Обгрунтуванням актуальності теми є те що при великому обсягу застосуванню датчиків тиску в різних сферах автоматизації необхідне вивчення нових типів та побудов таких датчиків. Мета роботи полягає у вивченні детального огляду основ, класифікації та прогресу в датчиках тиску, а також широку сферу їх застосування, аспекти дизайну та проблеми. Відповідно до мети, вирішувалися такі задачі: - мініатюризація датчиків тиску; - інноваційні датчики на основі новітніх технологій. У результаті проведених досліджень встановлено, основу датчиків тиску MEMS, їхні принципи роботи, різні аспекти конструкції, класифікація, тип використовуваної чутливої діафрагми та ілюстрації різних механізмів трансдукції. Крім того, ця робота представляє вичерпний огляд сучасної тенденції дослідження датчиків тиску на основі MEMS, їх застосування та прогалини в дослідженнях, які спостерігаються до теперішнього часу, а також масштаби майбутньої роботи, яка не обговорювалася в попередніх оглядах. Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є датчику тиску, способи виміру, побудови таких датчиків Предмет дослідження є датчики тиску. Робота викладена на 34 сторінках, у тому числі включає 14 рисунків, список цитованої літератури із 24 джерел.