Особливості структурно-фазового стану композиційних плівкових функціональних матеріалів на основі Fe і SiOх

Abstract

Метою даної роботи було дослідження структурно-фазового стану композиційних плівкових функціональних матеріалів на основі Fe і SiOх після конденсації та високотемпературного відпалювання використовуючи методи електронографії та просвічуючої електронної мікроскопії. Для реалізації поставленої мети були проведені дослідження структурно- фазового стану композиційних плівкових функціональних матеріалів на основі Fe і SiOх у вигляді шаруватих структур [Fe(dFe)/SiOх(5)]5/П з ефективною товщиною шарів Fe dFe = 4-10 нм після конденсації та високотемпературного відпалювання (Тв = 800 К). Встановлено, що фазовий стан зразка [Fe(dFe)/SiOх(5)]5/П при dFe = 10 нм відповідає ОЦК-Fe і не змінюється у процесі термообробки при температурі 800 К. У той же час на електронограмі свіжесконденсованого зразка [Fe(dFe)/SiOх]5/П при dFe = 4 нм спостерігаються лише розмиті дифракційні максимуми. Після відпалювання таких зразків при температурі 800 К фіксується двофазний склад, що відповідає ОЦК-Fe + ГЦК-FeO.