Please use this identifier to cite or link to this item:
https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82015
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Високочутливий газовий сенсор на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt |
Authors |
Макаренко, К.В.
|
ORCID | |
Keywords |
газовий сенсор тришарова плівка магнетронне розпилення |
Type | Masters thesis |
Date of Issue | 2020 |
URI | https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82015 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Макаренко, К.В. Високочутливий газовий сенсор на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного рівня магістра; спец.: 171 – електроніка / К.В. Макаренко; наук. керівник І.О. Шпетний. – Суми: СумДУ, 2020. – 37 с. |
Abstract |
Мета роботи полягає у аналізі особливостей при розробці конструкції
високочутливого напівпровідникового газового сенсору на основі тришарової
плівки Pt/TiO2/Pt, у тому числі і на підкладці із гнучкого матеріалу, а також у
вивченні його технічних характеристик, в тому числі при дії різних факторів.
У роботі описані та проаналізовані особливості конструкції чутливого
елементу напівпровідникового газового сенсора на основі тришарової плівки
Pt/TiO2/Pt. Дана багатошарова плівкова система була отримана методом
реактивного магнетронного розпилення на постійному струмі. Також при
виготовленні сенсору виготовлявся метод фотолітографії. При вимірюванні
електрофізичних властивостей сенсору (реакція зміни електроопору на
концентрацію газу) використовувався автоматизований комплекс, що
складається з газової камери, системи керування та реєстрації сигналу. Потік та
концентрація газу були керовані двома контролерами, які керуються через
програмне забезпечення. |
Appears in Collections: |
Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ) |
Views
China
1
Greece
1
Ireland
678
Lithuania
1
Singapore
1
Ukraine
31639
United Kingdom
4481
United States
52279
Unknown Country
10998
Downloads
Czechia
1
France
66
Lithuania
1
Netherlands
99
Norway
1
Ukraine
31640
United Kingdom
1
United States
100081
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Makarenko_mag_rob.pdf | 1,87 MB | Adobe PDF | 131890 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.