Enhanced Performance of an Integrated Pyroelectric Infrared Detector on a Flexible Substrate: Modeling and Simulation

Abstract

Чутливість та ефективність роботи інтегрованого піроелектричного інфрачервоного детектора залежать не тільки від характеристик матеріалу сенсорного елемента, а й від теплових характеристик всієї конструкції детектора, включаючи супутню електроніку. Таким чином, ми отримали функцію теплопередачі, вирішивши одновимірне рівняння теплової дифузії для n-шарової структури з одним елементом, з якого можна отримати, передбачити та оптимізувати ефективність детекторної структури з будь-якою кількістю шарів. Різні конфігурації датчика з одним елементом на гнучкій підкладці з полііміду та піроелектричні і теплові параметри модифікованої плівки титанату стронцію свинцю (PST) використовуються для прогнозування поточної чутливості інтегрованої детекторної системи. Отримані результати порівнюються з результатами для кремнієвої підкладки і виявляються привабливими для розробки гнучкої тонкоплівкової детекторної системи.

The sensitivity and performance of an integrated pyroelectric infrared detector depend not only on the material characteristics of a sensor element, but also on the thermal performance of the complete structure of detector design, including associated electronics. Thus, we have derived the thermal transfer function by solving the one-dimensional thermal diffusion equation for a single element n-layer structure, from which the performance of the detector structure of any number of layers can be obtained, predicted and optimized. Various single sensor configurations on the flexible substrate, polyimide, and pyroelectric and thermal parameters of modified lead strontium titanate (PST) film are utilized to predict the current responsivity of an integrated detector system. The results obtained are compared with silicon as a substrate and found to be attractive for the development of a flexible thin-film based detector system.