Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4346
Title: Магнетронні розпилювальні системи
Authors: Мулін, Д.В.
Keywords: магнетронне напилення
нанесення плівок
магнетронное напыление
нанесение пленок
magnetron sputtering
pellicle deposition
Issue Year: 2008
Publisher: Видавництво СумДУ
Citation: Мулін, Д.В. Магнетронні розпилювальні системи [Текст] / Д.В. Мулін // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. — Суми : СумДУ, 2008. — Т.1. — С. 115.
Description: Науковий керівник: Опанасюк Н.М.
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4346
Type: Theses
Appears in Collections:Наукові видання (ЕлІТ)

Views
Other107
Canada1
China2
Germany16
France1
Italy1
Netherlands7
Russia18
Turkey4
Ukraine68
United States39
Downloads
Other119
China1
Germany2
France1
Russia2
Ukraine5


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Матеріали ФТФ 2008 Том 1 94-167.pdf1.24 MBAdobe PDF130Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.