Конденсація парів вуглецю за допомогою самоузгоджених іонних розпилювачів

Перекрестов, Вячеслав Іванович; Космінська, Юлія Олександрівна; Нежинець, В.С.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4061

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Конденсація парів вуглецю за допомогою самоузгоджених іонних розпилювачів
Authors	Perekrestov, Viacheslav Ivanovych Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Нежинець, В.С.
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-2175-9206
Keywords	вуглець конденсація парів іонні розпилювачі углерод конденсация паров ионные распылители carbon vapor condensation ion spray
Type	Conference Papers
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4061
Publisher	Вид-во СумДУ
License
Citation	Перекрестов, В.І. Конденсація парів вуглецю за допомогою самоузгоджених іонних розпилювачів [Текст] / В.І. Перекрестов, Ю.О. Космінська, B.C. Нежинець // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. - Суми : СумДУ, 2008. - Т.2. - С. 52.
Abstract	В даній роботі пропонується метод поатомного синтезу вуглецевих конденсатів, в якому використовується новий технологічний підхід, оснований на роботі самоузгоджених іонних розпилювальних систем. Ці системи самостійно забезпечують стаціонарність процесу та гранично низькі пересичення осаджуваної речовини, яка конденсується лише за умови формування таких хімічних зв’язків атомів вуглецю з ростовою поверхнею, енергія яких вища за деяке критичне значення. Частина конденсованої речовини, що не відповідає цій умові, фізичним способом видаляється з поверхні росту, і це сприяє селективному росту конденсату. В роботі досліджується взаємозв’язок між технологічними параметрами осадження та структурою і фазовим складом результуючого вуглецевого шару на підкладці. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4061
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)