Вплив температурної і деформаційної залежності параметрів електроперенесення на електрофізичні властивості багатошарових плівок на основі Cr, Cu і Sc (Co)

Abstract

Дисертація присвячена теоретичному і експериментальному дослідженню електрофізичних властивостей (термічний коефіцієнт опору (ТКО) і коефіцієнт поздовжньої тензочутливості (КТ)) одно-, дво- і тришарових плівкових систем на основі Cr, Cu і Sc (Со). Запропоновані напівкласичні моделі ТКО і КТ для двошарових плівок, які задовільно узго-джуються з експериментальними результатами. Більш ефективними виявилися напівфеноменоло-гічні моделі для багатошарових плівкових систем, які враховують температурну або деформаційну залежність не тільки середньої довжини вільного пробігу електронів, але і коефіцієнтів дзеркаль-ності, проходження межі зерен і межі поділу шарів. Апробація моделей здійснена на дво- і три-шарових системах, в яких згідно з даними ВІМС, ЕОС і АСМ зберігається індивідуальність шарів. Проаналізовані питання про внесок об’ємного, поверхневого і зерномежового розсіювання у величину ТКО та про температурну залежність КТ. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3542

Диссертация посвящена теоретическому и экспериментальному исследованию электрофизи-ческих свойств (термический коэффициент сопротивления (ТКС) и коэффициент продольной тен-зочувствительности (КТ)) одно-, двух- и трехслойных пленочных систем на основе Cr, Cu и Sc, а в отдельных случаях – Cr, Cu и Co. Проведенный анализ полуклассической модели Диммиха для ТКС двухслойных пленок по-казал, что еѐ сильное расхождение с экспериментальными результатами связано с наличием в мо-дели трудноопределяемого параметра и с неучетом температурной зависимости не только СДВП, но и коэффициентов зеркальности (р), прохождения границы зерен (r) и границы раз-дела слоев (Q). В связи с этим в работе предложены полуклассическая модель, которая не оперирует вышеуказанным параметром Диммиха, и полуфеноменологическая модель, учитывающая температурную зависимость параметров электропереноса, р, r и Q. Апробация моделей показала, что вторая более эффективно описывает ТКС двух- и трехслойных пленок. На момент постановки задач исследований, связанных с коэффициентом тензочувствитель-ности, были известны полуклассическая модель для двухслойных монокристаллических металли-ческих пленок, адаптированная на случай поликристаллических образцов, и полуфеноменологи-ческая модель, учитывающая по аналогии с моделью для ТКС, деформационную зависимость указанных выше параметров электропереноса. Поскольку этот учет был сделан не корректно, то в работе осуществлено уточнение и апробация модели. Имеет место очень хорошее соответствие расчетных и экспериментальных данных (расхождение менее 30%). В работе особое внимание уделено вопросу структурно-фазового состояния образцов и со-хранению в них индивидуальности отдельных слоев – необходимого условия корректной апроба-ции предложенных теоретических моделей. Проанализировано ряд сопутствующих вопросов, связанных с температурной зависимостью КТ, методикой разделения вклада фонового, поверхностного и зернограничного рассеивания электронов в величину ТКС. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3542

The dissertation is devoted to theoretical and experimental investigation of electrophysical properties (thermal coefficient of resistance - TCR and gauge factor-GF of longitudinal tensosensibility of single-, double- and triple-layers film systems Cr, Cu and Sc (Co) based. Semi-classic models of TCR and GF for double-layers films, which satisfactorily correspond to ex-perimental results, were proposed. Semi-phenomenon models for multilayers film systems with account temperature and deformation dependences of the mean-free path of electrons, coefficients of the trans-mission at the grain boundary and at the interfaces rendered more effective. Models has been tested for double- and triple-layers systems, in which individual layers keep with SIMS, EAS and AFM data. Selection method of volume, surface, and grain boundary electron scattering contribution in TCR proposed. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3542