Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий

Погребняк, Александр Дмитриевич; Братушка, Сергей Николаевич; Кирик, Г.В.; Ильяшенко, Максим Викторович; Каверин, Михаил Валерьевич; Каверина, А.Ш.; Постольный, Богдан Александрович; Рогоз, В.Н.; Шипиленко, Андрей Павлович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий
Authors	Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych Bratushka, Serhii Mykolaiovych Кирик, Г.В. Illiashenko, Maksym Viktorovych Kaverin, Mykhailo Valeriiovych Каверина, А.Ш. Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych Рогоз, В.Н. Shypylenko, Andrii Pavlovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0002-9218-6492 http://orcid.org/0000-0003-3470-2265 http://orcid.org/0000-0002-1741-2525
Keywords	електронна структура электронная структура нанокомпозитне покриття нанокомпозитные покрытия
Type	Technical Report
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482
Publisher	Изд-во СумГУ
License
Citation	Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий: звіт про НДР (промежуточный) / Кер.: А.Д. Погребняк. - Сумы: СумГУ, 2013. - 35 с.
Abstract	Объектом исследования является исследование физико-химических свойств и структуры нанокомпозитных покрытий на основе Ti-Hf-Si-N; Zr-Ti-Si-N и (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N, а также изучение влияния параметров осаждения на фазовый и элементный состав полученных пленок также был проведен анализ микротвердости покрытий, произведен отжиг и проанализирована терми-ческая стабильность сверхтвердых нанокомпозитов и гетероструктур, также разработка новых свойств покрытий и многокомпонентных твердых нано-структур (нанокомпозитных покрытий) на основе Ti-Hf -Si-N, Zr-Ti-Si-N и Ti-Nb-Si-N, (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482
Appears in Collections:	Звіти з наукових досліджень