Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1797
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Чутливі елементи датчика тиску на основі плівок Cr і Cu або Fe
Authors Pazukha, Iryna Mykhailivna  
Protsenko, Ivan Yukhymovych  
ORCID http://orcid.org/0000-0001-9410-3024
http://orcid.org/0000-0003-3351-9303
Keywords датчик тиску
датчик давления
pressductor
багатошарова плівкова система
многослойная пленочная система
multi-layered pellicle system
аналіз процесів дифузії
анализ процессов диффузии
analysis of processes of diffusion
Type Article
Date of Issue 2008
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1797
Publisher Видавництво СумДУ
License
Citation Пазуха, І. М. Чутливі елементи датчика тиску на основі плівок Cr і Cu або Fe [Текст] / І. М. Пазуха, І. Ю. Проценко // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №2. — С. 111-117.
Abstract Запропонований чутливий елемент датчика тиску, який формується на основі багатошарової плівкової системи на основі шарів Cr і Cu або Fe. Наведені результати досліджень робочих характеристик датчика тиску на основі систем Fe/Cr та Cu/Cr, а також аналіз процесів дифузії і фазоутворення на межі поділу шарів і проблему стабільності інтерфейсів. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1797
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Canada Canada
1
China China
666
France France
3
Germany Germany
667
Greece Greece
100702
Iran Iran
1
Ireland Ireland
827950
Italy Italy
2
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
7
Norway Norway
1
Russia Russia
48
Slovakia Slovakia
1
Turkey Turkey
32
Ukraine Ukraine
25410201
United Kingdom United Kingdom
12805804
United States United States
121881913
Unknown Country Unknown Country
92

Downloads

China China
3
France France
1
Germany Germany
668
Lithuania Lithuania
1
Ukraine Ukraine
43589553
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
43589554
Unknown Country Unknown Country
154

Files

File Size Format Downloads
996EEFBBd01.pdf 266,66 kB Adobe PDF 87179935

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.