Нанолітографія

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/14049

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Нанолітографія
Authors	Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Шапко, Д.В.
ORCID
Keywords	нанолітографія нанолитография nanolithography
Type	Conference Papers
Date of Issue	2011
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/14049
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Шапко, Д.В. Нанолітографія [Текст] / Д.В. Шапко, Н.М. Опанасюк // Перший крок у науку : матеріали студентської конференції фак-ту електроніки ті інформаційних технологій, м. Суми, 22 травня 2011 р. / відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2011. — С. 99.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)